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名称 機関 メーカー 共用範囲
DE62
クリーンオーブン (Clean oven)
東北大学
ヤマト科学 (Yamato)
学内学外とも共用
MA6/BA6
両面アライナ (Double-side aligner)
東北大学
SUSS (SUSS)
学内学外とも共用
DWL2000CE
レーザ描画装置 (Laser writer)
東北大学
Heidelberg Instruments (Heidelberg Instruments)
学内学外とも共用
MLA150
マスクレスアライナ (Maskless aligner)
東北大学
Heidelberg Instruments (Heidelberg Instruments)
学内学外とも共用
ADE-3000S
スプレー現像装置 (Spray developer)
東北大学
アクテス (Actes)
学内学外とも共用
現像ドラフト (Draft chamber for development)
東北大学
-
学内学外とも共用
ZAA-4
スピン乾燥機 (Spin dryer)
東北大学
東邦化成 (Toho Kasei)
学内学外とも共用
ACS200Gen3
コータデベロッパ (Coater developer)
東北大学
Suss (Suss)
学内学外とも共用
FPA-3030i5+
i線ステッパ (i-line stepper)
東北大学
キヤノン (Canon)
学内学外とも共用
ELS-G125S
エリオニクス 130kV EB描画装置 (Elionix 130kV EB lithography)
東北大学
エリオニクス (Elionix)
学内学外とも共用
DN43H
ポリイミドキュア炉 (Curing oven)
東北大学
ヤマト科学 (Yamato)
学内学外とも共用
UMA-802
UV キュア装置 (UV curing)
東北大学
ウシオ電機 (Ushio)
学内学外とも共用
球面露光装置 (Maskless exposure system for ball)
東北大学
東栄科学産業 (Toei Scientific Instruments)
学内学外とも共用
XL-7
酸化炉 (Oxidation)
東北大学
東京エレクトロン (TEL)
学内学外とも共用
MT-10×8-A
酸化炉(8) (Oxidation)
東北大学
光洋サーモシステム (Koyo)
学内学外とも共用
XL-7
拡散炉 (Diffusion)
東北大学
東京エレクトロン (TEL)
学内学外とも共用
Model270
メタル拡散炉 (Metal diffusion furnace)
東北大学
光洋リンドバーグ (Koyo)
学内学外とも共用
NH-20SR
中電流イオン注入装置 (Middle-current ion implanter)
東北大学
日新イオン機器 (Nissin)
学内学外とも共用
XL-7
アニール炉 (Annealing)
東北大学
東京エレクトロン (TEL)
学内学外とも共用
AG4100
ランプアニール装置 (Rapid thermal annealing)
東北大学
AG Associates (AG Associates)
学内学外とも共用
水素アニール装置 (Hydrogen annealing)
東北大学
オリジナル (Original)
学内学外とも共用
LPCVD (LPCVD)
東北大学
システムサービス (System service)
学内学外とも共用
熱CVD (Thermal CVD)
東北大学
国際電気 (Kokusai Electric)
学内学外とも共用
MPX-CVD
住友精密PECVD (Sumitomo PECVD)
東北大学
住友精密工業 (Sumitomo Precision Products)
学内学外とも共用
MPX-CVD
住友精密TEOS PECVD (Sumitomo TEOS PECVD)
東北大学
住友精密工業 (Sumitomo Precision Products)
学内学外とも共用
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自然科学研究機構分子科学研究所 機器センター
〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
電話番号:0564-55-7490
MAIL : eqnet-office@ims.ac.jp
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