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名称 機関 メーカー 共用範囲
GMP-415V
ガラスインプリント装置
北海道大学
オープンファシリティセンター
芝浦機械
学内学外とも共用
-
マニュアルスパッタ
北海道大学
オープンファシリティセンター
自作
学内学外とも共用
RIE-10NR
リアクティブエッチング装置
公立千歳科学技術大学
サムコ (Samco)
学内学外とも共用
SC-M50XS
赤外線加熱単結晶製造装置(FZ炉)
公立千歳科学技術大学
キヤノンマシナリー (Canon Machinery)
学内学外とも共用
1HD7 K-359S1 SDB-1T
試料作製装置群 ・スピンコーター ・スピンコーター ・グローブボックス
公立千歳科学技術大学
ミカサ 共和理研 美輪製作所 ( Mikasa KYOWARIKEN Miwa Manufacturing)
学内学外とも共用
B1500A SMU B1511B x4 GNDU
半導体パラメータアナライザ (Semiconductor parameter analyzer)
東北大学
Keysight (Keysight)
学内学外とも共用
Nexview
Zygo Nexview (Zygo Nexview)
東北大学
Zygo (Zygo)
学内学外とも共用
マイクロマニピュレータ (Micromanipulator)
東北大学
Micro support (Micro support)
学内学外とも共用
028J plus
光造形3Dプリンター (Stereolithography 3D printer)
東北大学
Seaforce (Seaforce)
学内学外とも共用
PR150-THU
サブフェムト・インクジェット (Sub-femto inkjet)
東北大学
SIJテクノロジー (SIJテクノロジー)
学内学外とも共用
HB16
セミオートワイヤボンダ (Semi-automatic wire bonder)
東北大学
TPT (TPT)
学内学外とも共用
ELS-7500X
エリオニクス 50kV EB描画装置 (Elionix 50kV EB lithography)
東北大学
エリオニクス (Elionix)
学内学外とも共用
PSH1200
エッチングチャンバー (Draft chamber)
東北大学
アズワン (As one)
学内学外とも共用
有機ドラフトチャンバー (Draft Chamber for organic)
東北大学
-
学内学外とも共用
リン酸槽 (Draft chamber for SiN etching)
東北大学
-
学内学外とも共用
ZAA-4
スピン乾燥機 (Spin dryer)
東北大学
東邦化成 (Toho Kasei)
学内学外とも共用
PSC101
4スピン乾燥機 (4 Spin dryer)
東北大学
SEMITOOL (SEMITOOL)
学内学外とも共用
PSC101
6スピン乾燥機 (6 Spin dryer)
東北大学
SEMITOOL (SEMITOOL)
学内学外とも共用
DR22
シンター用オーブン (Sintering oven)
東北大学
ヤマト科学 (Yamato)
学内学外とも共用
DP-31
真空オーブン (Vacuum oven)
東北大学
ヤマト科学 (Yamato)
学内学外とも共用
特注
ブラシスクラバ (Brush scrubber)
東北大学
全協化成 (Zenkyo)
学内学外とも共用
1H-DXII
ミカサ スピンコータ (Mikasa Spin coater)
東北大学
ミカサ (Mikasa)
学内学外とも共用
ASC-4000
アクテス スピンコータ#1 (Spin coater)
東北大学
アクテス (Actes)
学内学外とも共用
ASC-4000W
アクテス スピンコータ#2 (Spin coater)
東北大学
アクテス (Actes)
学内学外とも共用
HHP-230SQ
ホットプレート (Hot plate)
東北大学
Shamal (Shamal)
学内学外とも共用
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自然科学研究機構分子科学研究所 機器センター
〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
電話番号:0564-55-7490
MAIL : eqnet-office@ims.ac.jp
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