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名称 機関 メーカー 共用範囲
PLV50
真空プローバ (Vacuum Probe System)
京都大学
カスケード・マイクロテック(株) (Cascade Microtech, Inc.)
学内学外とも共用
MA/BA8 Gen3 SPEC-KU
両面マスク露光&ボンドアライメント装置
京都大学
ズース・マイクロテック
学内学外とも共用
Tanner Tools Pro
回路&レイアウト設計ツール (Ics Design & Layout Editor)
京都大学
タナーEDA
学内学外とも共用
MA6 BSA SPEC-KU/3
両面マスクアライナー (Manual High Precision Double-Sided Mask Aligner)
京都大学
ズース・マイクロテック
学内学外とも共用
AD-800LP-KN
原子層堆積装置 (Atomic Layer Deposition)
京都大学
サムコ
学内学外とも共用
EVG6200TBN
UVナノインプリント装置 (UV-based Nanoimprint Lithography)
京都大学
イーヴィグループ (EV Group)
学内学外とも共用
EVG6200TBN
熱インプリント装置 (Hot Embossing System)
京都大学
イーヴィグループ (EV Group)
学内学外とも共用
Eitre3
ナノインプリントシステム (Nanoimprint Lithography)
京都大学
Obducat
学内学外とも共用
OVE-350
電子線蒸着装置 (2) (Electron Beam Evaporator No.2)
京都大学
大阪真空機器製作所
学内学外とも共用
RIE-800iPB-KU
深堀りドライエッチング装置 (2) (Reactive Ion Deep Silicon Etcher No.2)
京都大学
サムコ
学内学外とも共用
ELS-100T
超高精細電子ビームリソグラフィー装置?(Ultra high definition electron beam lithography system)
大阪大学
エリオニクス?(ELIONIX)
学内学外とも共用
ELS-BODEN-OU4801
自動搬送電子ビーム描画装置?(Automatic Transport Electron Beam Lithography System)
大阪大学
エリオニクス?(ELIONIX)
学内学外とも共用
ELS-S50LBC
高速大面積電子ビームリソグラフィー装置?(High speed and large area electron beam lithography system)
大阪大学
エリオニクス?(ELIONIX)
学内学外とも共用
MA-10
マスクアライナー?(Mask aligner)
大阪大学
ミカサ?(Mikasa)
学内学外とも共用
Eitre 3
ナノインプリント装置?(Nanoimprint system)
大阪大学
オブデュキャット?(Obducat)
学内学外とも共用
RIE-400iPB-NP
深掘りエッチング装置?(Deep etching system)
大阪大学
サムコ?(Samco)
学内学外とも共用
RIE-10NR-NP
リアクティブイオンエッチング装置?(Reactive ion etching system)
大阪大学
サムコ?(Samco)
学内学外とも共用
RIE-10NOU
リアクティブイオンエッチング装置?(Reactive ion etching system)
大阪大学
サムコ?(Samco)
学内学外とも共用
EB1100
多元DC/RFスパッタ装置?(Multi-target DC/RF sputtering system)
大阪大学
キャノンアネルバ?(CANON ANELVA)
学内学外とも共用
SVC-700LRF
RFスパッタ成膜装置(金属成膜用)?(RF sputtering system (metal))
大阪大学
サンユー電子?(Sanyu Electron)
学内学外とも共用
SVC-700LRF
RFスパッタ成膜装置(絶縁体成膜用)?(RF sputtering system (oxide))
大阪大学
サンユー電子?(Sanyu Electron)
学内学外とも共用
MB02-5002
誘導結合型RFプラズマ支援スパッタ装置(ICP-RFスパッタ装置)?(RF-Sputtering System with Inductively Coupled Plasma )
大阪大学
株式会社アルバック?(ULVAC, Inc.)
学内学外とも共用
UEP-2000 OT-H/C
EB蒸着装置?(EB deposition system)
大阪大学
アルバック ?(ULVAC)
学内学外とも共用
MC-LMBE
自動制御型パルスレーザ蒸着ナノマテリアル合成装置?(Automatic pulsed laser deposition nano-materials synthesis system)
大阪大学
株式会社パスカル?(Pascal Co.,Lid.)
学内学外とも共用
IntelliSuite
MEMS設計ツール (IntelliSuite)
広島大学
インテリセンス
学内学外とも共用
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自然科学研究機構分子科学研究所 機器センター
〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
電話番号:0564-55-7490
MAIL : eqnet-office@ims.ac.jp
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