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名称 機関 メーカー 共用範囲
MODEL270-M100
酸化・拡散炉
東海国立大学機構・名古屋大学
光洋リンドバーグ
学内学外とも共用
ET200
小型微細形状測定機
東海国立大学機構・名古屋大学
小坂研究所
学内学外とも共用
PD-240
プラズマCVD装置
東海国立大学機構・名古屋大学
サムコ
学内学外とも共用
Fluoromax-4P
蛍光りん光分光光度計
東海国立大学機構・名古屋大学
堀場製作所
学内学外とも共用
特注
超高密度大気圧プラズマ装置
東海国立大学機構・名古屋大学
FUJI
学内学外とも共用
-
ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
東海国立大学機構・名古屋大学
自作
学内学外とも共用
-
高温プロセス用誘導結合型プラズマエッチング装置
東海国立大学機構・名古屋大学
自作
学内学外とも共用
-
表面解析プラズマビーム装置
東海国立大学機構・名古屋大学
自作
学内学外とも共用
-
in-situプラズマ照射表面分析装置
東海国立大学機構・名古屋大学
自作
学内学外とも共用
特注
真空紫外吸収分光計
東海国立大学機構・名古屋大学
NUシステム
学内学外とも共用
mPG101-UV
レーザ描画装置
東海国立大学機構・名古屋大学
Heidelberg Instruments
学内学外とも共用
Photonic Professional SCLEAD3CD2000
3次元レーザ・リソグラフィシステム群
東海国立大学機構・名古屋大学
Nanoscribe KISCO?(Nanoscribe KISCO)
学内学外とも共用
X-300 BVU-ND
ナノインプリント装置
東海国立大学機構・名古屋大学
SCIVAX
学内学外とも共用
DACS-LAB
パリレンコーティング装置
東海国立大学機構・名古屋大学
KISCO?(KISCO)
学内学外とも共用
JSM-7000FK SPG-724
高精度電子線描画装置
東海国立大学機構・名古屋大学
日本電子 サンユー電子
学内学外とも共用
MJB-3
両面露光用マスクアライナ
東海国立大学機構・名古屋大学
Suss MicroTec AG
学内学外とも共用
LA410
マスクアライナ
東海国立大学機構・名古屋大学
ナノテック
学内学外とも共用
Multiplex-ASE
Deep Si Etcher
東海国立大学機構・名古屋大学
住友精密工業
学内学外とも共用
PEM800
両面露光用マスクアライナ
東海国立大学機構・名古屋大学
ユニオン光学
学内学外とも共用
BEAMER
電子線描画用データ処理ソフトウェア
東海国立大学機構・名古屋大学
GenISys
学内学外とも共用
特型
プラズマ・ガス凝縮クラスター堆積装置 (Plasma-Gas-Condensation Cluster Deposition Apparatus)
名古屋工業大学
産学官金連携機構
日本ビーテック (Vieetech Japan)
学内学外とも共用
SPC-2000HC
スパッタリング蒸着装置 (Sputtering Deposition Apparatus)
名古屋工業大学
産学官金連携機構
アルバック (ULVAC, Inc.)
学内学外とも共用
JIS-300AK/ DBO-1KP-0
真空蒸着装置群 (Vacuum Deposition Equipment)
名古屋工業大学
産学官金連携機構
シンク/ MBRAUN (Sinku of Technology Co., Ltd./ MBRAUN)
学内学外とも共用
自作
中規模カーボンナノファイバー室温合成装置 (Room-Temperature Carbon Nanofiber Growth System (for Medium Sized Samples))
名古屋工業大学
産学官金連携機構
自作 (Home-made)
学内学外とも共用
特型
特型表面ナノ構造形成装置 (Nanostructure Fabrication System)
名古屋工業大学
産学官金連携機構
アルバック (ULVAC)
学内学外とも共用
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自然科学研究機構分子科学研究所 機器センター
〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
電話番号:0564-55-7490
MAIL : eqnet-office@ims.ac.jp
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