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名称 機関 メーカー 共用範囲
IBS-6000S
イオンビームスパッタ装置
北海道大学
オープンファシリティセンター
アルバック
学内学外とも共用
ACS-4000-C3-HS
コンパクトスパッタ装置
北海道大学
オープンファシリティセンター
アルバック
学内学外とも共用
ELS-F130HM
超高速スキャン高精度電子ビーム露光装置
北海道大学
オープンファシリティセンター
エリオニクス
学内学外とも共用
PAC-LMBE
半導体薄膜堆積装置
北海道大学
オープンファシリティセンター
パスカル
学内学外とも共用
QAM-4-ST
多元スパッタ装置
北海道大学
オープンファシリティセンター
アルバック
学内学外とも共用
APX-ASE-Pegasus-Polestar
シリコン深堀りエッチング装置
北海道大学
オープンファシリティセンター
SPPテクノロジーズ
学内学外とも共用
EB-580S
電子ビーム蒸着装置
北海道大学
オープンファシリティセンター
エイコーエンジニアリング
学内学外とも共用
UV-1
UV-オゾンクリーナー
北海道大学
オープンファシリティセンター
サムコ
学内学外とも共用
R-200 advanced
原子層堆積装置(粉末対応型)
北海道大学
オープンファシリティセンター
ピコサン
学内学外とも共用
PM5/4156C
電気的特性評価装置
北海道大学
オープンファシリティセンター
ズースマイクロテック、アジレント
学内学外とも共用
ELS-3700
電子ビーム描画装置
北海道大学
オープンファシリティセンター
エリオニクス
学内学外とも共用
MA-6
両面マスクアライナ
北海道大学
オープンファシリティセンター
ズースマイクロテック
学内学外とも共用
EBX-8C
EB加熱・抵抗加熱蒸着装置
北海道大学
オープンファシリティセンター
アルバック
学内学外とも共用
SSP3000Plus
スパッタ装置
北海道大学
オープンファシリティセンター
菅製作所
学内学外とも共用
DAD322
ダイシングソー
北海道大学
オープンファシリティセンター
DISCO
学内学外とも共用
DWL66HK
レーザー描画装置
北海道大学
オープンファシリティセンター
ハイデルベルグ・インストルメンツ
学内学外とも共用
AD-230LP-H
プラズマ式原子層堆積装置
北海道大学
オープンファシリティセンター
サムコ
学内学外とも共用
GMP-415V
ガラスインプリント装置
北海道大学
オープンファシリティセンター
芝浦機械
学内学外とも共用
MILA-5000-P-N
卓上型ランプ加熱装置
北海道大学
オープンファシリティセンター
アドバンス理工
学内学外とも共用
-
マニュアルスパッタ
北海道大学
オープンファシリティセンター
自作
学内学外とも共用
ELS-F125-U
超高精度電子ビーム描画装置 125kV
北海道大学
オープンファシリティセンター
エリオニクス
学内学外とも共用
ELS-7000HM
超高精度電子ビーム描画装置 100 kV
北海道大学
オープンファシリティセンター
エリオニクス
学内学外とも共用
MA-20
マスクアライナ
北海道大学
オープンファシリティセンター
ミカサ
学内学外とも共用
DDB-201-200
レーザー描画装置
北海道大学
オープンファシリティセンター
ネオアーク
学内学外とも共用
ED-1500R
真空蒸着装置
北海道大学
オープンファシリティセンター
サンバック
学内学外とも共用
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自然科学研究機構分子科学研究所 機器センター
〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
電話番号:0564-55-7490
MAIL : eqnet-office@ims.ac.jp
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