| 名称 | 機関 | メーカー | 共用範囲 |
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学内学外とも共用
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5面電波暗室
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リケン環境システム |
学内学外とも共用
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シールドルーム
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リケン環境システム |
学内学外とも共用
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SYS-N2817-01、-02
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ノイズ研究所 |
学内学外とも共用
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TS9949-NITX
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東陽テクニカ |
学内学外とも共用
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㈱大西熱学 |
学内のみ
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VHX-600、VH-5500など
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キーエンス (Keyence) |
学内学外とも共用
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Multimode顕微鏡
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ブルカー (Bruker) |
学内学外とも共用
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JSM6500F
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日本電子 (JEOL Ltd.) |
学内学外とも共用
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特注
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ネオアーク (Neoark Corporation) |
学内学外とも共用
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inVia Reflex
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レニショー (Renishaw plc.) |
学内学外とも共用
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LSE
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ガ−トナ− (Gartner Sci. Corp.) |
学内学外とも共用
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特注
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豊田マックス |
学内学外とも共用
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アルファーステップ IQZ
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KLAテンコール (KLA-Tencor) |
学内学外とも共用
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NewView 7300
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ザイゴ (Zygo) |
学内学外とも共用
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VR-6200
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キーエンス |
学内学外とも共用
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RPD-PCS4/LC
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住友重機械工業 |
学内学外とも共用
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CFS-4ES
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芝浦エレテック (Shibaura eletec Corporatoin) |
学内学外とも共用
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BC2925(特注装置)
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アルバック (ULVAC) |
学内学外とも共用
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Fiji F200
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Ultratech/Cambridge Nano Tech (Ultratech/Cambridge Nano Tech) |
学内学外とも共用
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MX-1204
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大日本科研 (Japan Science Engineering Co., Ltd.) |
学内学外とも共用
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MA6
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ズース・マイクロテック (SUSS MicroTec) |
学内学外とも共用
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VPA-100改造
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VICインターナショナル (VIC international) |
学内学外とも共用
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特注
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東朋テクノロジー (Toho Technology Co.) |
学内学外とも共用
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縦型:MD-100P 横型:4001PSI
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縦型:ディー・エス・アイ テクノロジー 横型:光洋サーモシステム (縦型:DSITechnology Co.LTD 横型:Koyo Thermo Systems Co., Ltd.) |
学内学外とも共用
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