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名称 機関 メーカー 共用範囲
UFL-Hybrid
フェムト秒レーザー加工分析システム
東海国立大学機構・名古屋大学
輝創
学内学外とも共用
DC110
スプレーコーター
東海国立大学機構・名古屋大学
サンメイ
学内学外とも共用
MODEL270-M100
酸化・拡散炉
東海国立大学機構・名古屋大学
光洋リンドバーグ
学内学外とも共用
ET200
小型微細形状測定機
東海国立大学機構・名古屋大学
小坂研究所
学内学外とも共用
PD-240
プラズマCVD装置
東海国立大学機構・名古屋大学
サムコ
学内学外とも共用
Fluoromax-4P
蛍光りん光分光光度計
東海国立大学機構・名古屋大学
堀場製作所
学内学外とも共用
特注
超高密度大気圧プラズマ装置
東海国立大学機構・名古屋大学
FUJI
学内学外とも共用
-
ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
東海国立大学機構・名古屋大学
自作
学内学外とも共用
-
高温プロセス用誘導結合型プラズマエッチング装置
東海国立大学機構・名古屋大学
自作
学内学外とも共用
-
表面解析プラズマビーム装置
東海国立大学機構・名古屋大学
自作
学内学外とも共用
-
in-situプラズマ照射表面分析装置
東海国立大学機構・名古屋大学
自作
学内学外とも共用
特注
真空紫外吸収分光計
東海国立大学機構・名古屋大学
NUシステム
学内学外とも共用
mPG101-UV
レーザ描画装置
東海国立大学機構・名古屋大学
Heidelberg Instruments
学内学外とも共用
Photonic Professional SCLEAD3CD2000
3次元レーザ・リソグラフィシステム群
東海国立大学機構・名古屋大学
Nanoscribe KISCO?(Nanoscribe KISCO)
学内学外とも共用
X-300 BVU-ND
ナノインプリント装置
東海国立大学機構・名古屋大学
SCIVAX
学内学外とも共用
DACS-LAB
パリレンコーティング装置
東海国立大学機構・名古屋大学
KISCO?(KISCO)
学内学外とも共用
JSM-7000FK SPG-724
高精度電子線描画装置
東海国立大学機構・名古屋大学
日本電子 サンユー電子
学内学外とも共用
MJB-3
両面露光用マスクアライナ
東海国立大学機構・名古屋大学
Suss MicroTec AG
学内学外とも共用
LA410
マスクアライナ
東海国立大学機構・名古屋大学
ナノテック
学内学外とも共用
Multiplex-ASE
Deep Si Etcher
東海国立大学機構・名古屋大学
住友精密工業
学内学外とも共用
PEM800
両面露光用マスクアライナ
東海国立大学機構・名古屋大学
ユニオン光学
学内学外とも共用
BEAMER
電子線描画用データ処理ソフトウェア
東海国立大学機構・名古屋大学
GenISys
学内学外とも共用
SU8000
電界放出型走査電子顕微鏡?(Field-Emission Scanning Electron Microscope)
信州大学
日立ハイテク?(Hitachi High-Tech)
学内学外とも共用
JEM-2100F
ダブル球面収差補正付透過型電子顕微鏡?(Double spherical aberration corrected transmission electron microscope (Cs-corrected TEM))
信州大学
日本電子?(JEOL)
学内学外とも共用
HD-2300A
走査型透過電子顕微鏡?(Scanning transmission electron microscope)
信州大学
日立ハイテク?(Hitachi High-Tech)
学内学外とも共用
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お問合せ先
自然科学研究機構分子科学研究所 機器センター
〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
電話番号:0564-55-7490
MAIL : eqnet-office@ims.ac.jp
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