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名称 機関 メーカー 共用範囲
RIE-10NR
Reactive Ion Etching 装置(非Boschプロセス) (Reactive ion etching equipment (Non-Bosch))
豊田工業大学
サムコ (Samco Inc.)
学内学外とも共用
Multiplex-ASE-SRE-SE
Deep Reactive Ion Etching装置(Boschプロセス) (Reactive ion etching equipment (Bosch))
豊田工業大学
住友精密工業 (Sumitomo Precision Products CO.,LTD.)
学内学外とも共用
IM-4-1
イオンミリング装置 (Ion milling)
豊田工業大学
日立ハイテクフィールディング (Hitachi High-Tech Fielding Corporation)
学内学外とも共用
ADM-6DBV
ダイシング装置 (Dicing equipment)
豊田工業大学
岡本工作機械製作所 (okamoto machine tool works,LTD)
学内学外とも共用
CABL-AP50S/RD
電子ビーム描画装置 (Electron beam drawing equipment)
豊田工業大学
クレステック
学内学外とも共用
IntelliSuite
MEMS用統合解析ソフト
豊田工業大学
インテリセンス (IntelliSense)
学内学外とも共用
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お問合せ先
自然科学研究機構分子科学研究所 機器センター
〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
電話番号:0564-55-7490
MAIL : eqnet-office@ims.ac.jp
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