走査型プローブ顕微鏡装置群 (Scanning Probe Microscope)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 九州大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査プローブ顕微鏡 |
| 製造元 | アジレントテクノロジー島津製作所Veecoエスアイアイ・ナノテクノロジー?(Agilent Technologies ShimazuVeecoSeiko Instruments) |
| 型番 | PicoPlus 5500, SPM9600, nanoscopeIIIa, SPI3800N |
| 設備名称 | 走査型プローブ顕微鏡装置群 (Scanning Probe Microscope) |
| 装置スペック | 【PicoPlus 5500】 ・水平分解能：0.14 nm ・垂直分解能：0.01 nm 【付帯設備：表面抵抗率計Loresta-GP 三菱化学社製】 ・４端子４探針法 定電流印加方式、 ・測定レンジ：10-3〜107Ω ・直列４探針プローブ ・サンプル形状から体積低効率および伝導率算出可能 【SPM9600】 ・分解能 水平0.2nm 垂直0.01nm ・測定モード ：コンタクト、ダイナミック、位相 【走査型プローブ顕微鏡測定システム：nanoscopeIIIa】 ・測定モード：Ｓ１１（複素反射係数）dC/dV ・周波数：２ＧＨｚ〜6ＧＨz ・キャバシタンス：1.2aF ・ダイナミックレンジ：1014cm3〜1020cm3 ・空間分解能：2nｍ以下 ・カンチレバー：固体金属プローブ ・スキャンレンジ：ＸＹ軸 90μ×90μm以上 Ｚ軸８μm以上 【環境制御型多機能走査プローブ顕微鏡：SPI3800N】 ・環境：大気中、液中、真空中、ガス雰囲気 ・温度制御: 自動加熱・冷却(-120〜250℃) ・位相、摩擦、粘弾性、電流、etc. |
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