キセノンプラズマ集束イオンビーム加工・走査電子顕微鏡複合機 (Analytical plasma FIB-SEM)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 九州大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 試料加工装置 |
| 製造元 | サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック?(Thermo Fisher Scientific) |
| 型番 | Helios 5 Hydra DualBeam |
| 設備名称 | キセノンプラズマ集束イオンビーム加工・走査電子顕微鏡複合機 (Analytical plasma FIB-SEM) |
| 装置スペック | イオン源4種(Xe, Ar, O, N)、SIMS分析 |
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