デバイス >
コンタクト光学露光装置 (Contact optical exposure)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東京工業大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | ズース |
| 型番 | MA-8 |
| 設備名称 | コンタクト光学露光装置 (Contact optical exposure) |
| 装置スペック | ・アシスト機能装備、TSA/BSA装備 ・表面アライメント制度 TSA：±0.25μm以下 BSA：±1.00μm以下 ・露光解像度 0.5μm ・対応基板 小片〜直径2inch ウェハ |
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